Tässä artikkelissa esitellään 6 vapausasteen (DOF) tarkkuuspaikannusjärjestelmän suunnittelu ja testaus, joka koostuu kahdesta erilaisesta 3-DOF-tarkkuuspaikannusvaiheesta, joita kumpaakin ohjataan kolmella pietsosähköisellä toimilaitteella (PEA). Tarkkuus-PEA:iden ja taivutussaranamekanismien avulla saadaan aikaan erittäin tarkka liike. 6-DOF-paikannusjärjestelmän suunnittelumenetelmää ja kinemaattisia ominaisuuksia tutkitaan. Tehokkaan kinemaattisen mallin mukaan saadaan muunnosmatriisit, joita käytetään ennustamaan järjestelmän järjestelystä saatavan lähtösiirtymän ja PEA:iden laajenemisen määrän välistä suhdetta. Lisäksi 6-DOF-järjestelmän staattisia ja dynaamisia ominaisuuksia on arvioitu äärellisten elementtien menetelmän (FEM) simuloinnin ja kokeiden avulla. Suunnittelurakenne tarjoaa suuren dynaamisen kaistanleveyden, jonka ensimmäinen ominaistaajuus on 586,3 Hz. Decoupling-ohjausta ehdotetaan 6-DOF-järjestelmän nykyisen kytkentäliikkeen ratkaisemiseksi. Samaan aikaan PEA:iden hystereesin kompensoimiseksi käänteistä Bouc-Wen-mallia käytettiin feedforward-hystereesikompensaattorina feedforward/feedback-hybridiohjausmenetelmässä. Lopuksi suoritettiin laajoja kokeita kehitetyn mekanismin seurantasuorituskyvyn todentamiseksi.