Tento článek představuje návrh a test přesného polohovacího systému s 6 stupni volnosti (DOF), který je sestaven ze dvou různých 3-DOF přesných polohovacích stupňů, z nichž každý je poháněn třemi piezoelektrickými aktuátory (PEA). Na základě přesných PEA a ohybových kloubových mechanismů je dosaženo vysoké přesnosti pohybu. Zkoumá se metodika návrhu a kinematické charakteristiky polohovacího systému 6-DOF. Podle efektivního kinematického modelu jsou získány transformační matice, které se používají k předpovědi vztahu mezi výstupním posunem z uspořádání systému a velikostí roztažení PEAs. Kromě toho byly statické a dynamické charakteristiky systému 6-DOF vyhodnoceny pomocí simulace metodou konečných prvků (MKP) a experimentů. Navržená konstrukce poskytuje vysokou dynamickou šířku pásma s první vlastní frekvencí 586,3 Hz. K vyřešení stávajícího spřaženého pohybu systému 6-DOF je navrženo řízení rozpojení. Mezitím byl za účelem kompenzace hystereze PEA použit inverzní Bouc-Wenův model jako dopředný kompenzátor hystereze v hybridní metodě řízení s dopřednou a zpětnou vazbou. Nakonec byly provedeny rozsáhlé experimenty k ověření sledovací výkonnosti vyvinutého mechanismu.
.