This paper presents the design and test of a 6-degree-of-freedom(DOF) precision positioning system, which is assembled by two different 3-DOF precision positioning stages each driven by three piezoelectric actuators (PEAs). Dzięki zastosowaniu precyzyjnych PEA oraz mechanizmów przegubów zginanych uzyskano wysoką precyzję ruchu. Zbadano metodologię projektowania i charakterystykę kinematyczną systemu pozycjonowania 6-DOF. Zgodnie z efektywnym modelem kinematycznym, otrzymano macierze transformacji, które są wykorzystywane do przewidywania zależności pomiędzy wyjściowym przemieszczeniem z układu a wielkością rozszerzenia PEAs. Ponadto, statyczne i dynamiczne charakterystyki układu 6-DOF zostały ocenione za pomocą symulacji metodą elementów skończonych (FEM) oraz eksperymentów. Zaprojektowana struktura zapewnia wysoką szerokość pasma dynamicznego z pierwszą częstotliwością drgań własnych 586,3 Hz. Sterowanie odsprzęganiem jest proponowane w celu rozwiązania istniejącego ruchu sprzęgającego systemu 6-DOF. Tymczasem, w celu skompensowania histerezy PEAs, odwrotny model Bouc-Wen został zastosowany jako kompensator histerezy w hybrydowej metodzie sterowania feedforward/feedback. Wreszcie, przeprowadzono szeroko zakrojone eksperymenty w celu weryfikacji wydajności śledzenia opracowanego mechanizmu.