Este trabalho apresenta o desenho e teste de um sistema de posicionamento de precisão de 6 graus de liberdade(DOF), que é montado por dois estágios diferentes de posicionamento de precisão 3-DOF, cada um acionado por três atuadores piezoelétricos (PEAs). Com base nos PEAs de precisão e nos mecanismos de dobradiças de flexão, obtém-se um movimento de alta precisão. A metodologia de projeto e características cinemáticas do sistema de posicionamento 6-DOF são investigadas. De acordo com um modelo cinemático efetivo, são obtidas as matrizes de transformação, que são utilizadas para prever a relação entre o deslocamento de saída da disposição do sistema e a quantidade de expansão dos PEAs. Além disso, as características estáticas e dinâmicas do sistema 6-DOF foram avaliadas pelo método de elementos finitos (FEM) e experimentos. A estrutura de projeto fornece uma alta largura de banda dinâmica com a primeira freqüência natural de 586,3 Hz. O controle de desacoplamento é proposto para resolver o movimento de acoplamento existente do sistema 6-DOF. Entretanto, a fim de compensar a histerese dos PEAs, o modelo Bouc-Wen inverso foi aplicado como um compensador de histerese feedforward no método de controle híbrido feedforward/feedback. Finalmente, experimentos extensivos foram realizados para verificar o desempenho de rastreamento do mecanismo desenvolvido.