Detta dokument presenterar design och test av ett 6 graders precisionspositioneringssystem, som är sammansatt av två olika 3-DOF-precisionspositioneringssteg som var och en drivs av tre piezoelektriska ställdon (PEA). Med hjälp av de precisions-PEA:erna och böjda gångjärnsmekanismerna erhålls högprecisionsrörelser. Konstruktionsmetoden och de kinematiska egenskaperna hos 6-DOF-positioneringssystemet undersöks. Enligt en effektiv kinematisk modell erhålls transformationsmatriserna, som används för att förutsäga förhållandet mellan utgångsförskjutningen från systemarrangemanget och mängden PEA-expansion. Dessutom har 6-DOF-systemets statiska och dynamiska egenskaper utvärderats genom simulering med finita elementmetoden (FEM) och experiment. Konstruktionsstrukturen ger en hög dynamisk bandbredd med en första egenfrekvens på 586,3 Hz. En frikopplingskontroll föreslås för att lösa den befintliga kopplingsrörelsen i 6-DOF-systemet. För att kompensera hysteresen hos PEA:erna användes den omvända Bouc-Wen-modellen som en feedforward hysteresekompensator i feedforward/feedback-hybridstyrningsmetoden. Slutligen utfördes omfattande experiment för att verifiera den utvecklade mekanismens spårningsprestanda.